影像测仪比较常见的故障可分为开降传动故障，工作台故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、电气故障、电子故障以及精度故障等。
升降传动故障:通常情况下会遇到升降有异响、无法上升，下降、下降有坠落感，弹跳、传动时空回间隙需大、微调不传动、投影屏框松动等。
工作台故障:比较容易出现光杆自动空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。在解决故障时，需要先找出故障的原因，再对症下药。可调整弹簧的螺丝松紧、更换轴承、新上油、加润滑油、更换光杆、调节或更换光杆支架等方式来解决。
投影屏故障:旋转有声响时，可清理端面上的杂质(如锈渍),换新定位轴承等。旋转时磨擦力大，可松开锁紧螺丝，或换磨擦转。旋转时不均匀时，可换新度盘座、磨擦轮、磨擦轮轴等。投影屏旋转不计数时，可扭紧角度磨擦机械，埠接好信号线，接好接插等。
投影成像故障:成像模彻、成像有暗区、影像有黑斑、成像对比光线暗等，可以对物镜、投影屏、工作台玻璃、聚光镜、反光镜等进行清洗。对灯丝进行调节或更换，如果灯泡电源电乐过低，则加装总电源稳压器。
影像成像故障:显示黑屏时可查看电源线是否接好，电源电压等，插紧显示器信号线，如有零件损坏则需要更换显示器或者十字线产生器。当物镜变倍时十字线与描准点偏移大时，重调锁镜筒的螺丝钉，或者换镜筒。当出现被测工作的某一边有暗影时，可调节摄像机或者玻璃四个角上的螺丝，摆正工件。
电气故障:常见故障有灯泡不亮、轴流风机不转动、易烧灯泡、易烧保险丝、变压器过热损坏等。
电子故障:如电箱按键失现，可系统总清、换新面膜:如轴不计数，可换滑座或OP板或整个尺、重新接一下楼信号线，换上机板等。如数码管缺笔划，则需更换或维修。
精度故障：包括a，x，y轴精度不佳、两坐标测量精度差、角度示值误差大、不同平面测量误差大等。应对此类故障，要注意校正和调整。
日常维护和保养：
（1）开机前的准备
a.影像测量仪对环境要求比较严格，应按要求严格控制环境温度(20℃±2℃)及湿度(30～80％)。
b.影像测量仪的导轨精度很高，如果导轨上面有灰尘或其他杂质，就容易造成导轨划伤。金属导轨可用航空汽油擦拭（120或180号汽油），花岗石导轨用无水乙醇擦拭。
c.在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂。
d.定期给光杆，丝杆或磁条等传动部件上少量防锈油。
e.长时间未使用影像测量仪，在开机前应做好准备工作：控制室内的温度和和湿度（24小时以上），检查电源等部件是否正常。
f.开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地。
（2）测量过程的准备
a.被测工件在放到工作台上检测之前，应先清洗去毛刺，防止在加工完成后工件表面残留的冷却液及加工残留物影像测量仪的测量精度及使用寿命。
b.被测工件在测量之前应在室内进行恒温，如果温度相差过大会影响测量精度。
c.大型及重型工件在放置到工作台上的过程中应轻放，以避免造成剧烈碰撞，致使工作台或工件损伤。
d.小型及轻型工件放到工作台后，应夹装牢固后再进行测量，否则会影响测量精度。
e.在工作中移动Z轴时，应注意让镜头在移动过程中远离工件，以避免碰撞。
（3）测量结束后
a.测量结束后要清洁工作台面。
b.检查导轨，防止有杂物，水渍残留
c.工作结束后将机器总电源等关闭。
