关键词:金相显微镜;物镜场曲;物镜放大倍数;示值误差;校准规范;测量不确定度。
金相显微镜是广泛用于冶金、机械加工、科技等行业的测量仪器。它可以测量金属材料金相组织奥氏体的晶粒度级别、材料热处理后渗碳层的厚度等。为了提高我国的材料研发制造水平,我们必须对金相显微镜进行校准或检定。金相显微镜主要分为光学式金相显微镜、数码金相显微镜、便携式视频金相显微镜、万能金相显微镜、图像分析仪等。(以下统称金相显微镜)
由于各种金相显微镜的用途不同,故其类型、结构及精度亦不同,因而溯源关系和方式也不同。通过不同的技术手段和方法,我们最终可溯源到“单刻线样板标准器组”和“0.01mm标准测微尺”标准器组。
2、 校准项目的设立
2.1、物镜场曲
将一物镜安装好,将0.01mm标准测微尺放在工作台上并压紧;旋转调焦旋钮,将焦点调整在测微尺的中间,视场中心成像清晰,此时将千分表测头与工作台表面相接触并对好表的零位;再次旋转调焦旋转,把焦点调整到测微尺的边缘,使视场边缘成像清晰。观察千分表,其最大偏移量即为该物镜的场曲误差,其余物镜以此类推进行校准。
物镜场曲误差的指标如下:10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm
2.2、物镜放大倍数的正确性
装上10X标准目镜和被检物镜,将0.01mm标准没微尺放在工作台上并压紧。观察时测微尺应与目镜中的分划板相符合,其偏移量测是放大倍数的误差。其余物镜以此类推进行校校准,其误差不大于5%
2.3、目镜分划板的准确度
将带分划板目镜的镜头旋下,把分划板放置在万工显工作台上并调好焦距;调整工作台,使分划板的水平线与万工显纵向导轨行程平行并对好零位,按每20格测量一次,直到第100格,其误差不大于5um
2.4、物镜成像清晰范围
用被检物镜及10X目镜对测微尺或金相试样进行调焦,使成像清晰。当视场中心像最清晰时,测得视场内的成像清晰范围的误差不低于60%
2.5、各物镜相对于目镜的格值
装上被检仪器的10X目镜,将0.01mm标准测微尺(推荐使用随机0.01mm测微尺)放在工作台上并压紧;调整测微尺标尺轴线与仪器目镜分划板标尺轴线平行,并读出目镜分划板i条刻线里包含测微尺n条刻线数,该物镜相对于目镜的格值为:C=n/i*0.01mm.其余物镜的格值以此类推进行校准。