影像测量仪常见故障分为升降传动故障、工作台故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、电气故障、电子故障以及精度故障等。
1、升降传动故障。常见的有升降有异响、无法上升，下降、下降有坠落感，弹跳、传动时空回间隙大、微调不传动、投影屏框松动等。
2、工作台故障。一般容易出现光杆空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。解决故障时，要要找出故障原因，再对症下药。可调整弹簧的螺丝松紧、更换轴承、新上油、加润滑油、更换光杆、调节或更换光杆支架等方式来解决。
3、投影屏故障。旋转有声响时，可清理端面上的杂质（如锈渍），换新定位轴承等。旋转时磨擦力大，可松开锁紧螺丝，或换磨擦转。旋转时不均匀时，可换新度盘座、磨擦轮、磨擦轮轴等。投影屏旋转不计数时，可扭紧角度磨擦机械，焊接好信号线，接好接插等。
4、投影成像故障。成像模糊、成像有暗区、影像有黑斑、成像对比光线暗等，可以对物镜、投影屏、工作台玻璃、聚光镜、反光镜等进行清洗。对灯丝进行调节或更换，如果灯泡电源电压过低，则加装总电源稳压器。
5、影像成像故障。显示黑屏时可查看电源线是否接好，电源电压等，插紧显示器信号线，如有零件损坏则需要更换显示器或者十字线产生器。当物镜变倍时十字线与描准点偏移大时，重调锁镜筒的螺丝钉，或者换镜筒。当出现被测工作的某一边有暗影时，可调节摄像机或者玻璃四个角上的螺丝，摆正工件。
6、电气故障。常见故障有灯泡不亮、轴流风机不转动、易烧灯泡、易烧保险丝、变压器过热，损坏等。
7、电子故障。如电箱按键失灵，可系统总清、换新面膜；如轴不计数，可换滑座或OP板或整个尺、重新接一下信号线、换主机板等。如数码管缺笔划，则需更换或维修。
8、精度故障。包括a.x.y轴精度不准、两坐标测量精度差、角度示值误差大、不同平面测量误差大等。应对此类故障，要注意校正和调整。
如果想让影像测量仪少发生故障，就要注重平时对仪器进行保养。仪器存放环境相当重要，应放在清洁干燥的房间里，避免光学零件表面发霉、金属零件生锈、尘埃杂物剥落等。件表面要保持清洁，不可以用手触摸，要经常进行清洁。
