三坐标组成部分如下：
工作台：（一般采用花岗石），用于摆放零件支撑桥架;
工作台放置零件时，一般要根据零件的形状和检测要求，选择适合的夹具或支撑。要求零件固定要可靠，不使零件受外力变形或其位置发生变化。大零件可在工作台上垫等高块，小零件可以放在固定在工作台上的方箱上固定后测量。
桥架：支撑Z滑架，形成互相垂直的三轴：桥架是测量机的重要组成部分，由主、附腿和横梁、滑架等组成。桥架的驱动部分和光栅基本都在主腿一侧，附腿主要起辅助支撑的作用。由于这个原因，一般桥式测量机的横梁长度不超过2.5米，超过这个长度就要使用双光栅等措施对附腿滞后的误差进行补偿，或采用其他机构形式。
滑架：使横梁与有平横装置的Z轴连接；滑架连接横梁和Z轴，其上有两轴的全部气浮块和光栅的读数头、分气座。气浮块和读数头的调整比较复杂，直接影响测量机精度，不允许调整。
导轨：具有精度要求的运动导向轨道，是基准：导轨是气浮块运动的轨道，是测量机的基准之一。压缩空气的油和水空气中灰尘会污染导轨，造成导轨直线度误差变大，使测量机的系统误差增大，影响测量精度。要保持导轨道完好，避免对导轨磕碰，定期清洁导轨。
光栅系统（光栅、读数头、零位片），是基准：
光栅系统是测量机的测长基准。光栅是刻有细密等距离刻线的金属或玻璃，读数头使用光学的方法读取这些刻线计算长度。为了便于计算出于温度变化造成光栅长度变化带来的误差，采用光栅一端固定，另一端放开，使其自由伸缩。另外在光栅尺座预置有温度传感器，便于有温度补偿功能的系统进行自动温度补偿。
零位片的作用是使测量机找到机器零点。机器零点是机器坐标系的原点，是测量机误差补偿和测量机行程控制的基准。
驱动系统（伺服电机、传动带）：
驱动系统出直流伺服电机、减速器、传动带、带轮等组成。驱动系统的状态会影响控制系统的参数，不能随便调整。
空气轴承气路系统（过滤器、开关、传感器、气浮块、气管）：
空气轴承（又称气浮块）是测量机的重要部件，主要功能是保持测量机的各运动轴互无摩擦，由于气浮块的浮起高度有限而且气孔很小，要求压缩空气压力稳定且其中不能含有杂质、油，也不能有水。过滤器系统是气路中的最后一道关卡，由于其过滤精度高，非常容易被压缩空气中的油污染，所以一定要有前置过滤装置和管道进行前置过滤处理。气路中连接的空气开关和空气传感器都具有保护功能，不能随便调整。
支承（架）、随动带：
小型测量机采用支架支撑三坐标测量机工作台，中，大型测量机一般采用千斤顶支撑工作台。都采用三点支撑，在一个支撑的一侧，有两个附助支撑，只起保险作用。每个支撑都有一个海绵垫，能够吸收振幅较小的震动，如果安装测量机的附近有幅度较大的震动源，要另外采取减震措施。
