X-射线荧光光谱仪（XRF）是一种较新型可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（即X-荧光）。波长和能量是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。

波长色散型X射线荧光光谱仪（WD-XRF），是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。该仪器产生于50年代，由于可以对复杂体系进行多组分同时测定，受到观注，特别在地质部门，先后配置了这种仪器，分析速度显著提高，起了重要作用。

随着科学技术的进步，在60年代初发明了半导体探测器以后，对X-荧光进行能谱分析成了可能。能谱色散型X荧光光谱仪（ED-XRF），用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线（荧光）直接进入半导体探测器，便可以据此进行定性分析和定量分析。

由于普通能量色散X荧光采用低功率X射线管，又采用滤光片扣除背景和干扰，其背景偏高，分辨率偏小，使得应用范围受到限制，特别是在轻元素的分析受到限制。随之X射线偏振器的诞生，产生了一款新型的能量色散X荧光光谱仪，既偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF，再加上SDD探测器的使用，不仅提高了（相对使用正比计数管和Si（PIN）探测器的仪器）的分辨率，免去Si(Li)探测器使用液氮冷却的繁琐和危险，填补了原来普通能量色散X荧光的轻元素检出限高，分辨率差的缺陷，又使得（相对波长色散X荧光用户）购买和使用X荧光仪器的成本大大减低，这使得偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF在分析领域的迅猛发展，越来越受到广泛关注。

三类仪器对比：

虽然偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF、波长色散型（WD-XRF）X射线荧光光谱仪与能量色散型（ED-XRF）X射线荧光光谱仪同属于X射线荧光光谱仪，它们产生信号的方法相同，zui后得到的波谱或能谱也极为相似，但由于色散、采集数据的方式不同，三种仪器在原理、仪器结构和功能上也有所不同。

1、原理区别

X-射线荧光光谱法，是用X-射线管发出的初级线束辐照样品，激发各化学元素发出二次谱线（X-荧光）。波长色散型荧光光谱仪（WD-XRF）是用X射线直接照射样品发射X荧光，分光晶体将荧光光束色散后，测定各种元素的特征X-射线波长和强度，从而测定各种元素的含量；而普通能量色散型荧光光谱仪（ED-XRF）是通过滤光片得到背景相对较低的X射线，照射样品发射X荧光，X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量；而偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF是采用偏振次级靶，得到单色的X射线照射样品，再X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量，这就大大提高了仪器的信噪比，提高了能谱仪分析轻元素的能力。

2、结构和功能方面的区别

波长色散型荧光光谱仪（WD-XRF），一般由光源（X-射线管）、样品室、分光晶体和检测系统等组成。为了准确测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体是安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，需要作为光源的X射线管的功率要大，一般为2～3千瓦。但X射线管的效率极低，只有1%的电功率转化为X射线辐射功率，大部分电能均转化为热能产生高温，所以X射线管需要专门的冷却装置（水冷或油冷），这就使得仪器结构比较复杂，硬件成本高，因此波谱仪的价格比能谱仪要高的多。

普通能量色散型X-荧光光谱仪（ED-XRF），一般由光源（X-射线管）、滤光片、样品室和检测系统等组成，与波长色散型X荧光光谱仪（WD-XRF）的区别在于它不用分光晶体，机构比较简单，价位比较低，但轻元素的检出限较高。

偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF，不采用滤光片，而采用偏振次级靶，其它与普通能量色散X荧光光谱仪（ED-XRF）相似，结构也比较简单，价位也远低于波长色散型荧光光谱仪（WD-XRF），但在轻元素的检出限方面接近波长色散型荧光光谱仪（WD-XRF）。