仪器特点
◆铸铁基座经过严格的时效处理，保证整体稳定性。
◆高牌号工作台，经过严格热处理时效，长期使用保证基准面不变形，导轨运行精度稳定。
◆采用优秀的无限远高倍率光学系统。
◆采用LED光源照明系统，保证高亮度，长寿面。
◆采用无间隙光杆传动工作台，保证测量精度。
◆超高的工作距离，采用步进电机升降，方便调节，自带DIC装置插槽。
◆特有粗、微调焦装置，微调最小每格0.002mm。
◆贴近用户的灵活性，仪器的部件升级无需专业人员，用户可自行操作完成。
应用领域
该仪器适用于LED、硅晶片、精密零件、导电粒子彩色滤光片、手机屏幕、FPD模组半导体晶片、FPC-PCB、IC封装光盘CD、图像传感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相观察及精确测量行业。
技术参数
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仪器型号 |
RX-200 |
RX-300 |
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X，Y，Z向测量行程（mm） |
200x100x200 |
300x200x200 |
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工作台面（mm） |
400x300 |
450x350 |
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外形尺寸（mm） |
600x350x1040 |
700x450x1040 |
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测量精度 |
X，Y轴:（3+L/200）μm Z轴:（5+L/200）μm |
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重复精度 |
3μm |
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光栅尺分辨率 |
0.001mm |
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光学系统 |
无限远光学系统 |
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CCD |
高分辨率500万像素 |
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镜头 |
标准金相显微镜镜头（带偏光片组，LED灯源） |
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物镜 |
5X，10X，20X，50X |
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目镜筒 |
铰链式三目镜筒、30°倾斜、瞳距：55～75mm |
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目镜 |
高亮点、大视场目镜 |
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调焦组 |
粗、微调焦装置，微调最小每格0.002mm |
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数显装置 |
多功能数显表 |
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测量软件 |
YR-J |
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上光源 |
LED灯 |
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下光源 |
平行光路设计，无极连续可调LED冷光源 |
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备注：根据客户需求，可特殊定制。
